国产高分辨电子背散射衍射仪样机研制成功

 

中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅研究员团队近日研制出国产高分辨电子背散射衍射仪（EBSD）样机，这标志着我国在电子显微镜相关分析测试仪器领域取得突破，为材料科学研究和工业应用提供技术支撑。

作为扫描电子显微镜的关键附件，EBSD能在微米尺度内高精度实现微区晶体学显微结构分析。目前，全球仅有4家国外公司掌握该设备的制造技术。面对技术壁垒，曾毅带领团队攻克了菊池花样标定方法、sCMOS（科学级互补金属氧化物半导体）相机、动态真空密封等多项关键技术难题，实现了从硬件到软件的全方位创新。

在研发过程中，团队不仅从设备应用者转型为仪器研制者，还创新性地提出“局部菊池带检测（LKBD）”方法，使平均角度偏差下降了38.5%，显著提高了条带识别精度；开发了基于“晶面间距高精度计算（误差<5%）”的辅助标定新方法，优化了菊池极筛选策略，将平均取向计算精度提升50%以上……这些技术的突破，有效保障了国产EBSD系统的准确性和可靠性。

据团队介绍，国产电子背散射衍射仪样机的研制成功，实现了花样标定、相鉴定、面分布采集等进口设备的基本功能，有望提升我国在高端材料表征仪器领域的竞争力。

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