[晶盛机电成功发布6英寸双片碳化硅外延设备]2月4日，晶盛机电6英寸双片碳化硅外延设备新产品发布会结束，标志着晶盛机电在第三代半导体领域取得重大突破。晶盛机电外延设备研究所所长刘毅表示，该产品经过两年的研发、测试和
验证，在外延产能和运营成本方面取得了国际领先优势。与单件设备相比，新设备单件产能增长70%，单件运营成本降低30%以上。（e公司）
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